一種紅外模組退火裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120506588.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214408359U 公開(kāi)（公告）日 2021-10-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN214408359U 申請(qǐng)公布日 2021-10-15
分類號(hào) G01N1/44（2006.01）I;G01N25/00（2006.01）I;H01L21/268（2006.01）I;H05B6/00（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州纖納光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州奧創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊文華
地址 311121浙江省杭州市余杭區(qū)倉(cāng)前街道龍?zhí)堵?號(hào)B幢209室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種紅外模組退火裝置，包括箱體，在箱體上設(shè)置真空管，在箱體內(nèi)設(shè)置紅外模組加熱器、載物臺(tái)和加熱器支架，紅外模組加熱器安裝在加熱器支架上，載物臺(tái)設(shè)置在紅外模組加熱器的正下方，載物臺(tái)用于放置待退火基片，在加熱器支架上設(shè)置用于調(diào)整紅外模組加熱器與載物臺(tái)之間高度的調(diào)整裝置；紅外模組加熱器包括一組紅外燈管、燈罩和燈箱體，一組紅外燈管和燈罩分別固定在燈箱體上，燈箱體固定在加熱器支架上。本實(shí)用新型通過(guò)快速升溫和高真空來(lái)短時(shí)間內(nèi)帶走溶劑，減短后處理時(shí)間和提高退火處理的均勻性。