一種在玻璃晶圓表面制備金屬層的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110896503.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113658872A 公開（公告）日 2021-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN113658872A 申請(qǐng)公布日 2021-11-16
分類號(hào) H01L21/48（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I;H01L23/498（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陶余凡 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇芯德半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京禾易知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張松云
地址 211800江蘇省南京市浦口區(qū)浦口經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)雙峰路69號(hào)A-11
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種在玻璃晶圓表面制備金屬層的方法，包括如下步驟：S1、采用等離子刻蝕工藝清洗玻璃晶圓；S2、將光刻膠均勻旋涂至所述玻璃晶圓表面，形成第一鍵合層；S3、以化劑溶解所述第一鍵合層的邊緣部分，獲得第二鍵合層，所述第二鍵合層的直徑小于所述第一鍵合層；S4、以濺射工藝濺射金屬于S2中所得玻璃晶圓表面，獲得金屬層，其中，所述第二鍵合層表面的金屬層與所述邊緣部分的金屬層厚度相等。本發(fā)明通過以化劑溶解位于玻璃晶圓邊緣的鍵合層，于玻璃晶圓邊緣金屬層直接與玻璃鏡與阿尼相接觸，相比于金屬層與鍵合層之間的結(jié)合力，金屬層與玻璃晶圓的表面結(jié)合力更強(qiáng)。