密封裝置、密封控制系統及硅烷壓縮機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111675821.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114135519A 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN114135519A 申請公布日 2022-03-04
分類號 F04D29/08（2006.01）I;F04D29/10（2006.01）I;F04D27/00（2006.01）I 分類 液體變容式機械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 王澤平;柳建容;劉婷 申請（專利權）人 中密控股股份有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 610041四川省成都市武侯區(qū)武科西四路八號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種密封裝置、密封控制系統及硅烷壓縮機，涉及含硅半導體生產技術領域，其中密封裝置包括從介質側向軸承側設置四級密封，依次為一級密封機構、二級密封機構、三級密封機構和四級密封機構；所述一級密封機構、所述二級密封機構和所述三級密封機構均采用干氣密封結構并串聯布置，所述四級密封機構采用梳齒密封結構，其中所述一級密封機構的密封氣與介質相同；硅烷壓縮機包括上述密封裝置，二級密封機構的密封氣壓力大于所述一級密封機構的泄漏氣壓力；密封控制系統包括供氣單元、過濾單元、流量調節(jié)單元、氣壓檢測單元以及泄漏氣監(jiān)測單元。該申請具有能夠杜絕外部非硅烷氣體進入壓縮機以提高運行穩(wěn)定性及泄漏硅烷可控可回收的優(yōu)點。