密封裝置、密封控制系統(tǒng)及硅烷壓縮機(jī)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111675821.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114135519A | 公開（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114135519A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-04 |
| 分類號(hào) | F04D29/08（2006.01）I;F04D29/10（2006.01）I;F04D27/00（2006.01）I | 分類 | 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵; |
| 發(fā)明人 | 王澤平;柳建容;劉婷 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中密控股股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 610041四川省成都市武侯區(qū)武科西四路八號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)涉及一種密封裝置、密封控制系統(tǒng)及硅烷壓縮機(jī)，涉及含硅半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，其中密封裝置包括從介質(zhì)側(cè)向軸承側(cè)設(shè)置四級(jí)密封，依次為一級(jí)密封機(jī)構(gòu)、二級(jí)密封機(jī)構(gòu)、三級(jí)密封機(jī)構(gòu)和四級(jí)密封機(jī)構(gòu)；所述一級(jí)密封機(jī)構(gòu)、所述二級(jí)密封機(jī)構(gòu)和所述三級(jí)密封機(jī)構(gòu)均采用干氣密封結(jié)構(gòu)并串聯(lián)布置，所述四級(jí)密封機(jī)構(gòu)采用梳齒密封結(jié)構(gòu)，其中所述一級(jí)密封機(jī)構(gòu)的密封氣與介質(zhì)相同；硅烷壓縮機(jī)包括上述密封裝置，二級(jí)密封機(jī)構(gòu)的密封氣壓力大于所述一級(jí)密封機(jī)構(gòu)的泄漏氣壓力；密封控制系統(tǒng)包括供氣單元、過濾單元、流量調(diào)節(jié)單元、氣壓檢測單元以及泄漏氣監(jiān)測單元。該申請(qǐng)具有能夠杜絕外部非硅烷氣體進(jìn)入壓縮機(jī)以提高運(yùn)行穩(wěn)定性及泄漏硅烷可控可回收的優(yōu)點(diǎn)。 |
