一種在線非接觸測厚設(shè)備及其測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710078987.2 申請日 -
公開（公告）號 CN106871773B 公開（公告）日 2019-07-09
申請公布號 CN106871773B 申請公布日 2019-07-09
分類號 G01B7/02（2006.01）I; G01B7/06（2006.01）I; G01B11/06（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 鄭長文 申請（專利權(quán)）人 東莞市嘉儀自動化設(shè)備科技有限公司
代理機構(gòu) 東莞市華南專利商標事務(wù)所有限公司 代理人 張明
地址 526060 廣東省肇慶市端州區(qū)東湖南路端州工業(yè)城A幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種在線非接觸測厚設(shè)備，包括中心控制臺和設(shè)置于中心控制臺一旁的設(shè)備機架，所述設(shè)備機架上設(shè)置有導料組件、測量組件以及用于支撐測量組件的橫梁頂塊，所述測量組件滑動設(shè)于橫梁頂塊，所述測量組件包括磁場傳感器、光發(fā)射器及CCD傳感器；所述導料組件包括設(shè)置于測量組件下方的主動輥輪和從動輥輪；所述磁場傳感器設(shè)于主動輥輪的正上方；所述光發(fā)射器和CCD傳感器分別位于主動輥輪的兩側(cè)并朝向磁場傳感器正對在主動輥輪的位置上。本發(fā)明通過磁場傳感器和光學測微儀相結(jié)合的測量方式，能夠有效減少外界因素對測量的影響，同時能對更大面積的非磁性薄膜類進行高精度測量。