一種薄片材料測(cè)厚用光譜共焦檢測(cè)設(shè)備及其檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710935797.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107643052A 公開（公告）日 2018-01-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN107643052A 申請(qǐng)公布日 2018-01-30
分類號(hào) G01B11/06;G01J3/28 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 鄭長(zhǎng)文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東莞市嘉儀自動(dòng)化設(shè)備科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣東莞信律師事務(wù)所 代理人 馮蓉
地址 523000 廣東省東莞市東城街道主山上三杞工業(yè)大道立洲科技園3號(hào)樓503
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種薄片材料測(cè)厚用光譜共焦檢測(cè)設(shè)備及其檢測(cè)方法，包括設(shè)備外殼以及光譜共焦檢測(cè)機(jī)構(gòu)、工控主機(jī)、光譜測(cè)厚電箱和滾筒機(jī)構(gòu)，滾筒機(jī)構(gòu)包括第一滾筒部分、第二滾筒部分以及設(shè)置于第一滾筒部分與第二滾筒部分上端中部的平行桿機(jī)構(gòu)，光譜共焦檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括支撐座、光電開關(guān)、第一光譜控制器、第二光譜控制器、U型架、第一光譜共焦鏡頭、第二光譜共焦鏡頭以及與支撐座連接的絲桿驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，第一光譜共焦鏡頭、第二光譜共焦鏡頭設(shè)置于U型架的同側(cè)端部呈同軸線連接，U型架的底部與絲桿驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的滑動(dòng)塊連接。本發(fā)明為在線式非接觸的光譜共焦測(cè)量設(shè)備，具有超高分辨率、檢測(cè)穩(wěn)定、可測(cè)量小孔、更高精度、更方便快速、檢測(cè)范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。