電容式傳感器及組合電容式位移測量傳感系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310612166.4 申請日 -
公開（公告）號 CN104677390A 公開（公告）日 2015-06-03
申請公布號 CN104677390A 申請公布日 2015-06-03
分類號 G01D5/241(2006.01)I;G01B7/02(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 林立 申請（專利權(quán)）人 山東林諾威神工控技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京博雅睿泉專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 林立;山東林諾威神工控技術(shù)有限公司
地址 美國，特拉華州
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種電容式傳感器及組合電容式位移測量傳感系統(tǒng)，具有至少一個固定部件STATOR，具有電連接在一起的按預定的距離分布的m個導電極片的第一電容極片組，和電連接在一起的按預定的距離分布的m個導電極片的第二電容極片組，兩組極片交替排列在電絕緣基底上；至少一個運動部件MOVER，具有n個接地電極片；固定部件STATOR的電容極片與運動部件MOVER的接地極片形成可變電容；運動部件MOVER以某種可控方式相對于固定部件STATOR運動改變可變電容器的重疊面積，使其電容量發(fā)生變化，可反映位移。還包括用于測量電容組電子信號、得到位移數(shù)據(jù)的信號處理系統(tǒng)；通過對極片形狀和布局的設計得到可變電容之間的相互補償減小電容間隙變化的影響，完成高精度大量程相對及絕對位移測量。