電容式傳感器及組合電容式位移測量傳感系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310612166.4 申請日 -
公開（公告）號 CN104677390B 公開（公告）日 2017-09-29
申請公布號 CN104677390B 申請公布日 2017-09-29
分類號 G01D5/241(2006.01)I;G01B7/02(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 林立 申請（專利權(quán)）人 山東林諾威神工控技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京博雅睿泉專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 林立;山東林諾威神工控技術(shù)有限公司
地址 美國特拉華州
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種電容式傳感器及組合電容式位移測量傳感系統(tǒng)，具有至少一個固定部件STATOR，具有電連接在一起的按預(yù)定的距離分布的m個導(dǎo)電極片的第一電容極片組，和電連接在一起的按預(yù)定的距離分布的m個導(dǎo)電極片的第二電容極片組，兩組極片交替排列在電絕緣基底上；至少一個運(yùn)動部件MOVER，具有n個接地電極片；固定部件STATOR的電容極片與運(yùn)動部件MOVER的接地極片形成可變電容；運(yùn)動部件MOVER以某種可控方式相對于固定部件STATOR運(yùn)動改變可變電容器的重疊面積，使其電容量發(fā)生變化，可反映位移。還包括用于測量電容組電子信號、得到位移數(shù)據(jù)的信號處理系統(tǒng)；通過對極片形狀和布局的設(shè)計得到可變電容之間的相互補(bǔ)償減小電容間隙變化的影響，完成高精度大量程相對及絕對位移測量。