一種基于線光譜共焦傳感器的晶圓量測設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123433399.7 申請日 -
公開（公告）號 CN216558790U 公開（公告）日 2022-05-17
申請公布號 CN216558790U 申請公布日 2022-05-17
分類號 G01B11/24（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 蹤振華;李昊陽;王彥喆 申請（專利權(quán)）人 熵智科技（深圳）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518034廣東省深圳市福田區(qū)華強(qiáng)北街道福強(qiáng)社區(qū)振華路中電迪富大廈7層703
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種基于線光譜共焦傳感器的晶圓量測設(shè)備，包括包括三軸機(jī)臺和線光譜共焦傳感器，其中，所述三軸機(jī)臺包括：X軸運(yùn)動模組，其沿水平的X軸直線運(yùn)動地設(shè)置；Y軸運(yùn)動模組，其沿水平的Y軸直線運(yùn)動地設(shè)置，且連接在所述X軸運(yùn)動模組上；X軸和Y軸相互垂直；旋轉(zhuǎn)檢測臺，其連接在所述Y軸運(yùn)動模組上；Z軸運(yùn)動模組，其沿豎直的Z軸直線運(yùn)動地設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)檢測臺的上方；視覺定位系統(tǒng)，其設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)檢測臺的上方；所述線光譜共焦傳感器連接在所述Z軸運(yùn)動模組上。本實用新型的基于線光譜共焦傳感器的晶圓量測設(shè)備，能夠調(diào)整待測晶圓的定位狀態(tài)，適應(yīng)晶圓表面的精確量測。