一種等離子刻蝕機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810464195.3 申請日 -
公開（公告）號 CN108470671B 公開（公告）日 2019-08-27
申請公布號 CN108470671B 申請公布日 2019-08-27
分類號 H01J37/32 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 梁亞;梁志強(qiáng) 申請（專利權(quán)）人 上海爾迪儀器科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海宏京知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海爾迪儀器科技有限公司
地址 201107 上海市閔行區(qū)閔北路88弄1-30號第22幢Q158室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是一種等離子刻蝕機(jī)，包括反應(yīng)腔室，反應(yīng)腔室內(nèi)設(shè)置有離子產(chǎn)生電極；離子產(chǎn)生電極上方設(shè)置有支撐框以支撐待加工工件；支撐框上表面豎直開設(shè)有安裝孔；離子產(chǎn)生電極在對應(yīng)著安裝孔的區(qū)域開設(shè)有螺紋孔，安裝孔和螺紋孔通過螺釘連接；螺釘與支撐框之間設(shè)置有墊板，墊板能夠避免螺釘因振動而在安裝孔內(nèi)發(fā)生松動；支撐框在安裝孔的位置設(shè)置有密封單元，密封單元位于墊板的上方，密封單元與墊板相互配合實(shí)現(xiàn)對支撐框的安裝孔的密封。本發(fā)明能夠?qū)γ芊鈫卧M(jìn)行固定，同時采用密封圈和液封等多種形式來阻止等離子體進(jìn)入安裝孔后對離子產(chǎn)生電極造成破壞，提高了刻蝕機(jī)的使用壽命。