崩環(huán)回收架

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110997365.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113859723A 公開(kāi)（公告）日 2021-12-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN113859723A 申請(qǐng)公布日 2021-12-31
分類號(hào) B65D25/10（2006.01）I;B65D81/02（2006.01）I;B65D25/00（2006.01）I;B65D85/30（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 吳應(yīng)秋;尹俊輝;沈文強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 智新半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢智權(quán)專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 韓夢(mèng)晴
地址 430056湖北省武漢市武漢經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)沌陽(yáng)大道339號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體物料存儲(chǔ)技術(shù)領(lǐng)域，本發(fā)明提供一種崩環(huán)回收架，包括：底座機(jī)構(gòu)，包括基座；第一限位機(jī)構(gòu)，包括設(shè)于多個(gè)支撐件，多個(gè)所述支撐件的底端均固定于所述基座上，多個(gè)所述支撐件的軸線方向均與所述基座的主表面垂直，多個(gè)所述支撐件用于限位于崩環(huán)內(nèi)圓邊沿處。本發(fā)明提供的崩環(huán)回收架，通過(guò)設(shè)置限位于崩環(huán)內(nèi)圓邊沿處的多個(gè)支撐件，對(duì)晶圓崩環(huán)起到暫存收納作用，同時(shí)基座邊沿對(duì)較薄的晶圓崩環(huán)起到物理防護(hù)作用。