一種高反射鏡面形的測量裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910751630.5 申請日 -
公開（公告）號 CN110455501A 公開（公告）日 2019-11-15
申請公布號 CN110455501A 申請公布日 2019-11-15
分類號 G01M11/02;G01B11/24 分類 測量；測試;
發(fā)明人 宋治平 申請（專利權(quán)）人 南京茂萊光學(xué)科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 南京茂萊光學(xué)科技股份有限公司
地址 211102江蘇省南京市江寧開發(fā)區(qū)鋪崗街398號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高反射鏡面形的測量裝置，包括光源、分光片、準(zhǔn)直儀、標(biāo)準(zhǔn)鏡以及CCD成像系統(tǒng)；標(biāo)準(zhǔn)鏡的前表面鍍有分光膜；光源發(fā)出的光束通過分光片后由準(zhǔn)直儀將點(diǎn)光源轉(zhuǎn)換成平行光，平行入射光Io在經(jīng)過標(biāo)準(zhǔn)鏡時(shí)，一部分光線由鍍有分光膜的標(biāo)準(zhǔn)鏡反射返回，另一部分光線通過標(biāo)準(zhǔn)鏡后到達(dá)被測鏡表面，由被測鏡表面反射回來，由鍍有分光膜標(biāo)準(zhǔn)鏡反射返回的光線IR與由被測鏡表面反射回來的光線在穿過標(biāo)準(zhǔn)鏡后的光線It形成干涉光線返回至分光片，通過分光片反射后進(jìn)入CCD成像系統(tǒng)，兩路相干光的強(qiáng)度比It/IR為0.2～1。