光刻圖像的生成方法、裝置和電子設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110170906.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112785665A 公開(kāi)（公告）日 2021-05-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN112785665A 申請(qǐng)公布日 2021-05-11
分類號(hào) G06T11/00 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 汪昱坤;李桂林;黃凱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 武漢華工圖像技術(shù)開(kāi)發(fā)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 徐麗
地址 430000 湖北省武漢市華工科技園內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種光刻圖像的生成方法、裝置和電子設(shè)備，包括：獲取待處理圖像的像素矩陣，該像素矩陣中包含有待處理圖像中的每個(gè)像素點(diǎn)對(duì)應(yīng)的像素值；按照預(yù)設(shè)規(guī)則，將像素矩陣中每個(gè)像素點(diǎn)的像素值替換為灰度值；基于預(yù)先建立的包含有每個(gè)灰度值對(duì)應(yīng)的曲線光柵圖的圖像集合，將像素矩陣中的灰度值替換為灰度值對(duì)應(yīng)的曲線光柵圖；將替換后的像素矩陣對(duì)應(yīng)的待處理圖像，確定為光刻圖像。該方法通過(guò)曲線光柵替換待處理圖像中的灰度值，從而避免了現(xiàn)有技術(shù)中漸變圖案利用直線光柵光刻制版的不連續(xù)性和對(duì)點(diǎn)光源的依賴性；同時(shí)，由于整體光柵的利用率高，增加了整體的亮度，解決了現(xiàn)有直線光柵制造漸變圖案的固有缺陷。