一種防爆油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)及其防爆控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210324787.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102829004B 公開(kāi)（公告）日 2016-09-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN102829004B 申請(qǐng)公布日 2016-09-07
分類號(hào) F04F9/08(2006.01)I 分類 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 令曉明;范多旺;夏榮斌;范多進(jìn);李德文;楊樹(shù)本 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘭州大成科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 湯東鳳
地址 213000 江蘇省常州市新北區(qū)創(chuàng)業(yè)路16號(hào)粵海工業(yè)園2號(hào)A座和B座標(biāo)準(zhǔn)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種防爆油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)及其防爆控制方法，包括油擴(kuò)散泵系統(tǒng)，油擴(kuò)散泵系統(tǒng)具有油擴(kuò)散泵，油擴(kuò)散泵的抽氣口與真空室的出氣口通過(guò)管路連通，還包括控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)包括設(shè)置在油擴(kuò)散泵的前級(jí)排氣口管路上的壓力檢測(cè)裝置、設(shè)置在油擴(kuò)散泵內(nèi)的實(shí)時(shí)檢測(cè)油溫的測(cè)溫裝置和測(cè)量真空室內(nèi)壓力的測(cè)壓裝置，控制系統(tǒng)設(shè)有臨界壓力Pq和防爆壓力Pfb，控制系統(tǒng)通過(guò)采集壓力檢測(cè)裝置、測(cè)溫裝置和測(cè)壓裝置測(cè)得的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)控制油擴(kuò)散泵系統(tǒng)中各泵組和閥組的啟閉。本發(fā)明通過(guò)控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)監(jiān)控油擴(kuò)散泵的油溫、前級(jí)壓力和真空室壓力，并與設(shè)定的臨界壓力和防爆壓力進(jìn)行比較，若檢測(cè)到危險(xiǎn)做出相應(yīng)的處理，避免油擴(kuò)散泵發(fā)生爆炸。