一種化學(xué)氣相沉積爐及其旋轉(zhuǎn)受熱裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022788139.0 申請日 -
公開（公告）號 CN213739674U 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN213739674U 申請公布日 2021-07-20
分類號 C23C16/458（2006.01）I;C23C16/46（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉俊鋒 申請（專利權(quán)）人 湖南碳谷新材料有限公司
代理機構(gòu) 長沙智德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張敏
地址 410000湖南省長沙市寧鄉(xiāng)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)澳洲北路068號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種化學(xué)氣相沉積爐及其旋轉(zhuǎn)受熱裝置，所述的旋轉(zhuǎn)受熱裝置包括：底座，所述底座上繞豎直軸轉(zhuǎn)動設(shè)有主轉(zhuǎn)軸、副轉(zhuǎn)軸，三個所述的副轉(zhuǎn)軸繞主轉(zhuǎn)軸軸線呈環(huán)形陣列設(shè)置；主轉(zhuǎn)軸、副轉(zhuǎn)軸下端通過傳動組件與減速機傳動連接，所述主轉(zhuǎn)軸上端通過快速定位機構(gòu)與主回轉(zhuǎn)臺底部可拆卸連接，所述副轉(zhuǎn)軸通過快速定位機構(gòu)與副回轉(zhuǎn)臺底部可拆卸連接；三組呈環(huán)形陣列均布設(shè)置的加熱組件設(shè)置于兩兩副回轉(zhuǎn)臺之間的空隙處。所述的化學(xué)氣相沉積爐，包括：爐體、爐底，所述爐體內(nèi)部中空，其下端開口且蓋合于爐底上，所述爐底上安裝有上述旋轉(zhuǎn)受熱裝置。本實用新型目的旨在方便快捷地更換回轉(zhuǎn)工作臺，以適應(yīng)不同規(guī)格產(chǎn)品的熱處理需求。