一種化學(xué)氣相沉積爐及其電極加熱裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022776371.2 申請日 -
公開（公告）號 CN213835529U 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN213835529U 申請公布日 2021-07-30
分類號 C23C16/44（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉俊鋒 申請（專利權(quán)）人 湖南碳谷新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙智德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張敏
地址 410000湖南省長沙市寧鄉(xiāng)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)澳洲北路068號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種化學(xué)氣相沉積爐及其電極加熱裝置，所述的電極加熱裝置包括：三組呈環(huán)形陣列均布設(shè)置的加熱組件；所述加熱組件包括：截面為V形的上導(dǎo)電板、下導(dǎo)電板，以及電加熱棒；所述上導(dǎo)電板、下導(dǎo)電板相對設(shè)置，且V形頂點(diǎn)朝向環(huán)形中心設(shè)置；所述電加熱棒兩端分別通過緊固機(jī)構(gòu)可拆卸安裝于上導(dǎo)電板、下導(dǎo)電板上。所述的化學(xué)氣相沉積爐，包括：爐體、爐底，所述爐體內(nèi)部中空，其下端開口且蓋合于爐底上，所述爐體內(nèi)壁上安裝有上述電極加熱裝置。本實(shí)用新型目的旨在保證加熱要求的前提下，充分利用加熱爐內(nèi)部空間，以適應(yīng)產(chǎn)品加熱需求。