一種微塵清潔裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922178562.6 申請日 -
公開（公告）號 CN211938208U 公開（公告）日 2020-11-17
申請公布號 CN211938208U 申請公布日 2020-11-17
分類號 B08B5/02(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 魏加杰;陳偉光;盧鳳軍;周崇銘 申請（專利權）人 合肥通富微電子有限公司
代理機構(gòu) 北京志霖恒遠知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 郭棟梁
地址 230000安徽省合肥市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)翠微路6號海恒大廈6012室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種微塵清潔裝置，可以應用于半導體集成電路封裝領域，用于清潔待封裝的半導體器件，由于半導體器件在生產(chǎn)的過程中易受到外部微塵的污染，在封裝后無法清除，微塵會影響半導體器件的產(chǎn)品質(zhì)量，本申請通過設置吹風組件，吹風組件包括調(diào)節(jié)裝置和設置在所述調(diào)節(jié)裝置上的吹風頭，調(diào)節(jié)裝置用于在水平方向調(diào)節(jié)吹風頭的位置，吹風頭包括至少一個開口向下的出氣管，和設置在吹風頭的下方的固定組件，吹風組件用于固定位于固定組件上方且位于吹風頭下方的傳送帶，通過固定組件固定傳送帶，吹風頭向半導體器件表面吹風實現(xiàn)對微塵的清理，進而保證了半導體器件的質(zhì)量。??