一種微塵清潔裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201922178562.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211938208U | 公開（公告）日 | 2020-11-17 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211938208U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-17 |
| 分類號(hào) | B08B5/02(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 魏加杰;陳偉光;盧鳳軍;周崇銘 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 合肥通富微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京志霖恒遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 郭棟梁 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)翠微路6號(hào)海恒大廈6012室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開了一種微塵清潔裝置，可以應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路封裝領(lǐng)域，用于清潔待封裝的半導(dǎo)體器件，由于半導(dǎo)體器件在生產(chǎn)的過程中易受到外部微塵的污染，在封裝后無法清除，微塵會(huì)影響半導(dǎo)體器件的產(chǎn)品質(zhì)量，本申請(qǐng)通過設(shè)置吹風(fēng)組件，吹風(fēng)組件包括調(diào)節(jié)裝置和設(shè)置在所述調(diào)節(jié)裝置上的吹風(fēng)頭，調(diào)節(jié)裝置用于在水平方向調(diào)節(jié)吹風(fēng)頭的位置，吹風(fēng)頭包括至少一個(gè)開口向下的出氣管，和設(shè)置在吹風(fēng)頭的下方的固定組件，吹風(fēng)組件用于固定位于固定組件上方且位于吹風(fēng)頭下方的傳送帶，通過固定組件固定傳送帶，吹風(fēng)頭向半導(dǎo)體器件表面吹風(fēng)實(shí)現(xiàn)對(duì)微塵的清理，進(jìn)而保證了半導(dǎo)體器件的質(zhì)量。?? |
