多功能倒片器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720907541.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN207134343U 公開(kāi)（公告）日 2018-03-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN207134343U 申請(qǐng)公布日 2018-03-23
分類號(hào) H01L21/677;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳謙國(guó) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 合肥通富微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京志霖恒遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 郭棟梁
地址 230000 安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)翠微路6號(hào)海恒大廈6012室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種多功能倒片器，包括支撐桿，支撐桿上沿軸向間隔排布有2個(gè)以上推動(dòng)板，且至少一個(gè)推動(dòng)板與支撐桿轉(zhuǎn)動(dòng)配合。本實(shí)用新型提供的多功能倒片器既可以實(shí)現(xiàn)晶圓倒片功能與晶圓分片功能，還可以在晶圓倒片與晶圓分片功能之間靈活切換，且整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。