多功能倒片器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720907541.1 申請日 -
公開（公告）號 CN207134343U 公開（公告）日 2018-03-23
申請公布號 CN207134343U 申請公布日 2018-03-23
分類號 H01L21/677;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳謙國 申請（專利權(quán)）人 合肥通富微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京志霖恒遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 郭棟梁
地址 230000 安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)翠微路6號海恒大廈6012室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種多功能倒片器，包括支撐桿，支撐桿上沿軸向間隔排布有2個(gè)以上推動板，且至少一個(gè)推動板與支撐桿轉(zhuǎn)動配合。本實(shí)用新型提供的多功能倒片器既可以實(shí)現(xiàn)晶圓倒片功能與晶圓分片功能，還可以在晶圓倒片與晶圓分片功能之間靈活切換，且整體結(jié)構(gòu)簡單。