噴嘴自清潔及防護(hù)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720883960.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN207126885U 公開(kāi)(公告)日 2018-03-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN207126885U 申請(qǐng)公布日 2018-03-23
分類號(hào) B08B3/02;B08B5/02 分類 清潔;
發(fā)明人 吳謙國(guó) 申請(qǐng)(專利權(quán))人 合肥通富微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京志霖恒遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 郭棟梁
地址 230000 安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)翠微路6號(hào)海恒大廈6012室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種噴嘴自清潔及防護(hù)系統(tǒng),包括設(shè)備顯影單元,所述設(shè)備顯影單元內(nèi)設(shè)有作業(yè)腔,所述作業(yè)腔旁安裝有導(dǎo)軌,所述導(dǎo)軌上安裝有機(jī)械臂,所述機(jī)械臂一端安裝有噴嘴,所述噴嘴上安裝有防護(hù)罩,所述設(shè)備顯影單元內(nèi)還設(shè)有清洗基座,所述清洗基座上設(shè)有多個(gè)用于噴出清洗液或者空氣的噴頭。根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例提供的技術(shù)方案,通過(guò)在噴嘴上設(shè)置防護(hù)罩有效避免噴霧噴嘴在使用過(guò)程中對(duì)作業(yè)環(huán)境的沾污,并且能過(guò)對(duì)防護(hù)罩進(jìn)行清潔,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本低,效率高。