一種靶材表面粗糙度的無(wú)痕檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110844615.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113483702A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN113483702A 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) G01B11/30（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學(xué)澤;于江花 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧波江豐電子材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王巖
地址 315400浙江省寧波市余姚市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)名邦科技工業(yè)園區(qū)安山路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種靶材表面粗糙度的無(wú)痕檢測(cè)方法，所述檢測(cè)方法包括以下步驟：使用標(biāo)樣對(duì)粗糙度儀進(jìn)行點(diǎn)檢；將樣品置于檢測(cè)臺(tái)，將檢測(cè)指示線指向樣品中心，移動(dòng)檢測(cè)頭使其位于所述樣品心至樣品邊緣連線的中點(diǎn)處，并開(kāi)始檢測(cè)。所述檢測(cè)方法可以準(zhǔn)確測(cè)試出靶材表面粗糙度數(shù)值，檢測(cè)速度快，操作便捷，檢測(cè)結(jié)果準(zhǔn)確度高，誤差小。