一種平面異型鈦靶組件的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110758415.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113458729A 公開（公告）日 2021-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN113458729A 申請(qǐng)公布日 2021-10-01
分類號(hào) B23P15/00（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I 分類 機(jī)床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學(xué)澤;陳石;廖培君 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧波江豐電子材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王巖
地址 315400浙江省寧波市余姚市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)名邦科技工業(yè)園區(qū)安山路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種平面異型鈦靶組件的制備方法，所述制備方法包括以下步驟：對(duì)鈦靶坯端面進(jìn)行車削加工螺紋處理，將所述鈦靶坯加工至所需形狀，得到鈦靶材；在背板表面加工凹槽，所述凹槽與所述鈦靶材形狀相匹配；將所述鈦靶材與所述背板進(jìn)行裝配，并依次進(jìn)行包套焊接以及熱等靜壓焊接；對(duì)焊接后的所述鈦靶材與所述背板進(jìn)行校平處理，得到所述平面異型鈦靶組件。所述制備方法制備得到的鈦靶材組件尺寸精度高，靶材平面度好，焊接結(jié)合率和結(jié)合強(qiáng)度高，焊接結(jié)構(gòu)適用于不同厚度設(shè)計(jì)的靶材。