一種研磨組合物及其應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110890010.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113480974A 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN113480974A 申請公布日 2021-10-08
分類號 C09K3/14（2006.01）I;B24B1/00（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學(xué)澤;孫慧芳;吳東青 申請（專利權(quán)）人 寧波江豐電子材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王巖
地址 315400浙江省寧波市余姚市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)名邦科技工業(yè)園區(qū)安山路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種研磨組合物及其應(yīng)用，所述研磨組合物包括復(fù)合磨粒和研磨液；所述復(fù)合磨粒包括氧化物研磨料、碳化物磨粒和金剛石磨粒；所述氧化物磨粒的粒度為3?5μm；所述碳化物磨粒的粒度為8?12μm；所述金剛石磨粒的粒度為0.1?1μm。所述應(yīng)用包括對鉬蒸發(fā)料進(jìn)行研磨處理，包括如下過程：將鉬蒸發(fā)料采用所述復(fù)合研磨組合物進(jìn)行第一研磨和第二研磨。通過對研磨中研磨介質(zhì)即研磨組合物的設(shè)計，實現(xiàn)了鉬蒸發(fā)料表面污物和缺陷的高效去除，同時顯著降低了鉬蒸發(fā)料的損失率，較現(xiàn)有技術(shù)中的鉬蒸發(fā)料損失率（40?20％）顯著降低，本發(fā)明中鉬蒸發(fā)料處理后的損失率為0.05?0.1％。