一種防打火靶材組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022382898.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214361648U 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN214361648U 申請公布日 2021-10-08
分類號 C23C14/35（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學(xué)澤;章麗娜 申請（專利權(quán)）人 寧波江豐電子材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王巖
地址 315400浙江省寧波市余姚市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)名邦科技工業(yè)園區(qū)安山路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種防打火靶材組件，所述防打火靶材組件包括層疊設(shè)置的靶材與背板；所述靶材與背板的結(jié)合部位設(shè)置有噴砂區(qū)；所述噴砂區(qū)至背板的邊緣依次設(shè)置有密封槽和排氣槽；所述噴砂區(qū)、密封槽與排氣槽呈并列排布。本實用新型提供的防打火靶材組件避免了靶材組件在磁控濺射過程中的打火現(xiàn)象，提升了鍍膜質(zhì)量的同時不額外增加操作繁瑣度。