用于MEMS麥克風(fēng)的振膜及MEMS麥克風(fēng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021308185.X 申請日 -
公開（公告）號 CN216437481U 公開（公告）日 2022-05-03
申請公布號 CN216437481U 申請公布日 2022-05-03
分類號 H04R19/04（2006.01）I;H04R7/04（2006.01）I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 趙轉(zhuǎn)轉(zhuǎn);但強;王凱杰;李楊 申請（專利權(quán)）人 瑞聲科技（南京）有限公司
代理機構(gòu) 深圳國新南方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張曾明
地址 210093江蘇省南京市棲霞區(qū)仙林大學(xué)城元化路南大科學(xué)園新興產(chǎn)業(yè)孵化基地研發(fā)樓8層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種用于MEMS麥克風(fēng)的振膜，所述振膜包括方型主體部和由主體部四角向外延伸的第一錨定部，所述第一錨定部包括由主體部向外延伸的連接部和從連接部向外延伸的支撐部，所述主體部向外延伸形成外膜，所述外膜與所述連接部的連接處形成圓角。本實用新型主要通過在振膜的主體部與第一錨定部的連接處設(shè)置圓角，以增大振膜的面積，從而達到增大MEMS麥克風(fēng)靈敏度的目的。