具有蹺蹺板結構的兩路集成可變光衰減器的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010223502.2 申請日 -
公開（公告）號 CN102313985B 公開（公告）日 2014-04-09
申請公布號 CN102313985B 申請公布日 2014-04-09
分類號 G02B26/08(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I 分類 光學;
發(fā)明人 周敬然;張海英 申請（專利權）人 仁建科技有限公司
代理機構 中科專利商標代理有限責任公司 代理人 中國科學院微電子研究所;中科仁健科技有限公司;北京中科微投資管理有限責任公司;仁建科技有限公司;澳芯集成電路技術（廣東）有限公司
地址 100029 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有蹺蹺板結構的兩路集成可變光衰減器，該衰減器包括兩對單模光纖(1)、光纖定位結構(2)、具有蹺蹺板結構的可動上電極(3)和固定下電極(4)，其中光纖定位結構(2)是在硅片上腐蝕出的V型槽自對準結構，可動上電極(3)包括微鏡(31、31′)和蹺蹺板式懸臂(32)，其中微鏡(31、31′)分別位于所述懸臂(32)兩端，固定下電極(4)包括硅片上腐蝕出來的凹槽(41)和蒸鍍在凹槽上的金屬電極(42、42′)。本發(fā)明還公開了一種制作具有蹺蹺板結構的兩路集成可變光衰減器的方法。本發(fā)明滿足了兩路集成，有效減小了器件體積，滿足了當前光電子器件向集成化、小型化發(fā)展的需求。