具有蹺蹺板結(jié)構(gòu)的兩路集成可變光衰減器及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010223502.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102313985A 公開(kāi)（公告）日 2012-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN102313985A 申請(qǐng)公布日 2012-01-11
分類號(hào) G02B26/08(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 周敬然;張海英 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 仁建科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
地址 100029 北京市朝陽(yáng)區(qū)北土城西路3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種具有蹺蹺板結(jié)構(gòu)的兩路集成可變光衰減器，該衰減器包括兩對(duì)單模光纖(1)、光纖定位結(jié)構(gòu)(2)、具有蹺蹺板結(jié)構(gòu)的可動(dòng)上電極(3)和固定下電極(4)，其中光纖定位結(jié)構(gòu)(2)是在硅片上腐蝕出的V型槽自對(duì)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)，可動(dòng)上電極(3)包括微鏡(31、31′)和蹺蹺板式懸臂(32)，其中微鏡(31、31′)分別位于所述懸臂(32)兩端，固定下電極(4)包括硅片上腐蝕出來(lái)的凹槽(41)和蒸鍍?cè)诎疾凵系慕饘匐姌O(42、42′)。本發(fā)明還公開(kāi)了一種制作具有蹺蹺板結(jié)構(gòu)的兩路集成可變光衰減器的方法。本發(fā)明滿足了兩路集成，有效減小了器件體積，滿足了當(dāng)前光電子器件向集成化、小型化發(fā)展的需求。