基于氣浮傳輸下玻璃基板的角度補正機構和AOI檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010945469.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112098418A 公開（公告）日 2020-12-18
申請公布號 CN112098418A 申請公布日 2020-12-18
分類號 G01N21/88;G01N21/01 分類 測量；測試;
發(fā)明人 黃旭;周秋俊;胡盛財;董勤;楊如意;陳尹力 申請（專利權）人 安徽皓視光電科技有限公司
代理機構 北京潤平知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 安徽皓視光電科技有限公司
地址 241000 安徽省蕪湖市弋江區(qū)高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)4#廠房一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于氣浮傳輸下玻璃基板的角度補正機構和AOI檢測裝置，該角度補正機構包括吸盤吸附模組能夠?qū)飧l件下玻璃基板吸附在吸盤上；擺臂旋轉(zhuǎn)模組一端與所述絲桿滑軌模組的運動端連接，另一端與吸盤吸附模組底部固定連接；絲桿滑軌模組能夠驅(qū)動擺臂旋轉(zhuǎn)模組帶動吸盤吸附模組吸附玻璃，使玻璃在氣浮條件下進行水平角度補正范圍在(?1.5°)至1.5°；其中，絲桿滑軌模組運動精度為0.1?0.4um，擺臂旋轉(zhuǎn)模組的旋轉(zhuǎn)精度在±0.02分，從而使得玻璃旋轉(zhuǎn)精度為±0.02分。該角度補正機構能夠?qū)ΣＡЩ暹M行微調(diào)，實現(xiàn)對玻璃基板的角度補正，從而提高玻璃基板中缺陷的檢出率。