一種基于同步運(yùn)動(dòng)式圓度誤差分離裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201711359653.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108061532B 公開（公告）日 2019-12-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN108061532B 申請(qǐng)公布日 2019-12-03
分類號(hào) G01B21/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 揚(yáng)州市旅游日用品制造總廠
代理機(jī)構(gòu) 北京華識(shí)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 揚(yáng)州市旅游日用品制造總廠
地址 225000 江蘇省揚(yáng)州市杭集鎮(zhèn)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明一種基于同步運(yùn)動(dòng)式圓度誤差分離裝置及方法屬于精密儀器制造及測量技術(shù)領(lǐng)域；該方法主要在超精密圓度測量儀中引入一個(gè)可以與超精密圓度誤差測量儀回轉(zhuǎn)工作臺(tái)同向旋轉(zhuǎn)的誤差分離轉(zhuǎn)臺(tái)，通過三次測量含有不同系統(tǒng)分量的圓周信號(hào)，分離出被測件的圓度誤差、超精密圓度測量儀器的回轉(zhuǎn)工作臺(tái)徑向回轉(zhuǎn)誤差和誤差分離轉(zhuǎn)臺(tái)的徑向回轉(zhuǎn)誤差中的任意一種，與應(yīng)用最廣泛的多步法相比，此方法完全在空域中解決問題，不涉及傅里葉變換，完全避免了諧波抑制，且測量與計(jì)算過程簡單，無模型誤差，為超精密級(jí)圓度誤差分離提供了一種新的思路。