一種單晶爐副室自動清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121307462.X 申請日 -
公開（公告）號 CN215560789U 公開（公告）日 2022-01-18
申請公布號 CN215560789U 申請公布日 2022-01-18
分類號 C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;B08B9/087（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 周鼎軍;朱瑋;高學恒;王猛猛 申請（專利權(quán)）人 天津康帝德科技有限公司
代理機構(gòu) 北京同輝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 何靜
地址 300403天津市濱海新區(qū)睦寧路34號泰達高科技工業(yè)園18-102號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種單晶爐副室自動清洗裝置，包括移動機構(gòu)、升降機構(gòu)、輔助升降機構(gòu)、清洗機構(gòu)以及控制升降機構(gòu)和清洗機構(gòu)運行的控制系統(tǒng)；升降機構(gòu)垂直固接于移動機構(gòu)上，其頂部連接有清洗機構(gòu)；升降機構(gòu)包括若干按管徑從大到小自下至上依次套接且呈階梯狀排列的升降節(jié)和傳動裝置，傳動裝置驅(qū)動最下方的升降節(jié)上升或下降，最下方的升降節(jié)通過輔助升降機構(gòu)帶動其余升降節(jié)逐節(jié)上升或下降；本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計合理，升降機構(gòu)逐節(jié)均勻升降，升降的穩(wěn)定性和可靠性好，自鎖性好，體積較小，操控靈活，安全可靠，工作效率高，具有廣闊的應(yīng)用前景，有利于推廣應(yīng)用。