一種用于制作晶體硅太陽能電池PN結(jié)的石英爐管

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201120379895.6 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN202275863U 公開（公告）日 2012-06-13
申請公布號(hào) CN202275863U 申請公布日 2012-06-13
分類號(hào) H01L31/18(2006.01)I;C30B31/06(2006.01)I;C30B31/16(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃志林;肖劍峰;周體 申請（專利權(quán)）人 寧波升日太陽能電源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 寧波奧圣專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 程曉明;周玨
地址 315040 浙江省寧波市高新區(qū)星光路211號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于制作晶體硅太陽能電池PN結(jié)的石英爐管，其為雙層結(jié)構(gòu)，包括外層石英管和內(nèi)層氣流均衡管，外層石英管內(nèi)徑向設(shè)置有口部石英支撐圓盤和尾部石英支撐圓盤，內(nèi)層氣流均衡管置放于兩個(gè)石英支撐圓盤上，外層石英管和內(nèi)層氣流均衡管之間的環(huán)形空隙中沿軸向均勻設(shè)置有多塊石英隔流板，多塊石英隔流板分環(huán)形空隙為多個(gè)氣流腔，內(nèi)層氣流均衡管上均勻分布有多個(gè)氣流孔，尾部石英支撐圓盤上連接有與內(nèi)層氣流均衡管連通的廢氣排放管及與氣流腔連通的工藝氣體進(jìn)氣管，使用時(shí)工藝氣體通過氣流腔再經(jīng)氣流孔均勻沉積到硅片表面上，這種結(jié)構(gòu)的石英爐管實(shí)現(xiàn)了對氣流的控制并加以穩(wěn)定，可提高硅片和整管晶硅電池?cái)U(kuò)散方阻的均勻性到±2%以內(nèi)。