一種靜電伺服撓性加速度計(jì)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN02227856.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN2541847Y 公開（公告）日 2003-03-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN2541847Y 申請(qǐng)公布日 2003-03-26
分類號(hào) G01P15/125 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王福殿;呂良;楊冠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 惠州惠臺(tái)仙通智能儀表有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州粵高專利代理有限公司 代理人 羅曉林
地址 516006廣東省惠州市惠臺(tái)工業(yè)園區(qū)18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種利用靜電力產(chǎn)生伺服力矩的石英電容式撓性加速度計(jì)，包括控制電路、設(shè)在基座上的石英撓性擺片、傳感電容器，在石英撓性擺片的兩側(cè)面對(duì)稱地設(shè)置有兩對(duì)金屬電極，這兩對(duì)金屬電極分別與設(shè)置在基座上的金屬電極構(gòu)成傳感電容C1、C2和產(chǎn)生靜電力伺服力矩的電容C3、C4。傳感電容C1、C2產(chǎn)生的電信號(hào)進(jìn)入控制電路中的差動(dòng)脈沖電路寬度調(diào)制電路后，并經(jīng)比例放大電路、低通濾波電路，一路輸出信號(hào)Vout，一路經(jīng)驅(qū)動(dòng)電路產(chǎn)生伺服靜電力矩信號(hào)并輸入到電容C3、C4。本實(shí)用新型由于采用靜電力實(shí)現(xiàn)伺服閉環(huán)的技術(shù)方案，使精加工部件部件減少，可大幅度降低制造和裝配成本，降幅可達(dá)1/3左右，便于推廣應(yīng)用。