一種振梁式角速率傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN02270981.9 申請日 -
公開（公告）號 CN2559987Y 公開（公告）日 2003-07-09
申請公布號 CN2559987Y 申請公布日 2003-07-09
分類號 G01P3/44 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王福殿;呂良;楊冠 申請（專利權(quán)）人 惠州惠臺仙通智能儀表有限公司
代理機構(gòu) 廣州粵高專利代理有限公司 代理人 羅曉林
地址 516006廣東省惠州市惠臺工業(yè)園區(qū)18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種通過振梁運動引起電容內(nèi)靜電電荷變化計算出運動角速率的振梁式角速率傳感器，其敏感器件為用鋼絲懸吊在基座中的振梁及其控制電路，在立方柱狀振梁的表面有電極片，基座的內(nèi)壁也有一一對應(yīng)的電極片，構(gòu)成了驅(qū)動電容C3、讀出電容C2、阻尼電容C4、運動信號電容C1，各電容是控制電路的組成部分。C3使振梁起振而C1則通過閉環(huán)反饋使振梁維持在正常的工作預(yù)備狀態(tài)，被測體的運動導(dǎo)致C2的電容量值變化使控制電路獲得了運動狀態(tài)的輸出信號。本實用新型重量輕、體積小、使用壽命長、可靠性高、全固態(tài)化，大幅度提高了整使用穩(wěn)定性，比例系數(shù)在全溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定性可達(dá)0.05％以上，零位漂移可小于0.006°/s/h。