一種振梁式角速率傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN02270981.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN2559987Y 公開(kāi)（公告）日 2003-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN2559987Y 申請(qǐng)公布日 2003-07-09
分類(lèi)號(hào) G01P3/44 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王福殿;呂良;楊冠 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 惠州惠臺(tái)仙通智能儀表有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州粵高專(zhuān)利代理有限公司 代理人 羅曉林
地址 516006廣東省惠州市惠臺(tái)工業(yè)園區(qū)18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種通過(guò)振梁運(yùn)動(dòng)引起電容內(nèi)靜電電荷變化計(jì)算出運(yùn)動(dòng)角速率的振梁式角速率傳感器，其敏感器件為用鋼絲懸吊在基座中的振梁及其控制電路，在立方柱狀振梁的表面有電極片，基座的內(nèi)壁也有一一對(duì)應(yīng)的電極片，構(gòu)成了驅(qū)動(dòng)電容C3、讀出電容C2、阻尼電容C4、運(yùn)動(dòng)信號(hào)電容C1，各電容是控制電路的組成部分。C3使振梁起振而C1則通過(guò)閉環(huán)反饋使振梁維持在正常的工作預(yù)備狀態(tài)，被測(cè)體的運(yùn)動(dòng)導(dǎo)致C2的電容量值變化使控制電路獲得了運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的輸出信號(hào)。本實(shí)用新型重量輕、體積小、使用壽命長(zhǎng)、可靠性高、全固態(tài)化，大幅度提高了整使用穩(wěn)定性，比例系數(shù)在全溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定性可達(dá)0.05％以上，零位漂移可小于0.006°/s/h。