速率閉環(huán)振梁式角速率傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN02270980.0 申請日 -
公開（公告）號 CN2543069Y 公開（公告）日 2003-04-02
申請公布號 CN2543069Y 申請公布日 2003-04-02
分類號 G01P3/44 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王福殿;呂良;楊冠 申請（專利權）人 惠州惠臺仙通智能儀表有限公司
代理機構 廣州粵高專利代理有限公司 代理人 羅曉林
地址 516006廣東省惠州市惠臺工業(yè)園區(qū)18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種通過振梁運動引起電容內(nèi)靜電電荷變化計算出運動角速率的速率閉環(huán)振梁式角速率傳感器，其敏感器件為用鋼絲懸吊在基座中的振梁及其控制電路，在振梁及基座的內(nèi)壁有一一對應的電極片，構成了驅動電容C3、讀出電容C2、阻尼電容C4、反饋運動信號電容C1及輸出信號閉環(huán)伺服電容C5、C6、C7、C8，各電容是控制電路的組成部分。C3使振梁起振而C1通過閉環(huán)反饋使振梁維持在正常的工作預備狀態(tài)，被測體的運動導致C2的電容量值變化使控制電路獲得了運動狀態(tài)的輸出信號，輸出信號的反饋實現(xiàn)了速率閉環(huán)，進一步穩(wěn)定了振梁的工作狀態(tài)、提高了信號線性度和輸出的穩(wěn)定。