一種能夠增強(qiáng)顯影效果的顯影裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023251674.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214122683U 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號 CN214122683U 申請公布日 2021-09-03
分類號 G03F7/30（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 楊女燕 申請（專利權(quán)）人 陜西光電子先導(dǎo)院科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安弘理專利事務(wù)所 代理人 戴媛
地址 710119陜西省西安市高新區(qū)上林苑一路15號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種能夠增強(qiáng)顯影效果的顯影裝置，包括顯影腔室，顯影腔室內(nèi)底部連接旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸上連接晶圓載臺，顯影腔室上壁穿接顯影液出液管，顯影液出液管位于顯影腔室內(nèi)的一端在晶圓載臺上方；通過噴嘴噴灑顯影液，通過旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動帶動晶圓載臺，在噴灑顯影液時能夠鋪料均勻，避免鋪料時出現(xiàn)氣泡，且減少顯影液的浪費(fèi)。本實(shí)用新型的裝置增加了背洗的功能，主要洗去從上方流下的顯影液殘余；側(cè)邊的氮?dú)獯祾吣苁咕A顯影后保持一個干凈的表面。