一種采用真空負(fù)壓注漿成型技術(shù)制備ITO靶材的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610358773.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106045496B 公開（公告）日 2018-06-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN106045496B 申請(qǐng)公布日 2018-06-19
分類號(hào) C04B35/457;C04B35/622;B28B1/26;B28B11/24 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 陳志強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 洛陽(yáng)瑞德材料技術(shù)服務(wù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 洛陽(yáng)市凱旋專利事務(wù)所 代理人 陸君
地址 471000 河南省洛陽(yáng)市澗西區(qū)西苑路21號(hào)院內(nèi)1號(hào)樓9樓910
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種采用真空負(fù)壓注漿成型技術(shù)制備ITO靶材的方法，涉及材料領(lǐng)域。本發(fā)明采用氧化銦或氧化錫或氧化鋯或氧化鈰或氧化鉍等溶膠作為粘結(jié)劑而不使用有機(jī)粘結(jié)劑配制漿料，采用真空負(fù)壓注漿成型，真空負(fù)壓以柔性方式施加給漿體，減少坯體成型內(nèi)應(yīng)力，成型、干燥和預(yù)燒一次原位完成。本發(fā)明可以有效減少ITO制造過(guò)程時(shí)間和成本，提高產(chǎn)品質(zhì)量，特別適合于大規(guī)格ITO靶材的制造。本發(fā)明方法不僅適用于ITO靶材的成型，同樣適用于AZO、IGZO等陶瓷靶材的成型。