一種MEMS壓力傳感器測(cè)試結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021935135.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212903713U | 公開（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212903713U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號(hào) | G01L25/00(2006.01)I;G01L27/00(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 陳恕華;胡晨光 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州搏技光電技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州言思嘉信專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 邵永永 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城西北區(qū)2幢101室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種MEMS壓力傳感器測(cè)試結(jié)構(gòu)，包括主體支架、安裝于主體支架上的第一擋框，所述主體支架上固定安裝有Z軸模組，位于主體支架上還設(shè)有第一測(cè)試結(jié)構(gòu)，所述第一測(cè)試結(jié)構(gòu)與Z軸模組連接。本實(shí)用新型的有益效果是，通過測(cè)試結(jié)構(gòu)與Z軸模組配合，能夠有效地對(duì)MEMS壓力傳感器進(jìn)行測(cè)試，并且Z軸模組能夠控制測(cè)試結(jié)構(gòu)上下移動(dòng)，適用范圍大。?? |
