一種MEMS壓力傳感器測試結構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021935135.4 申請日 -
公開（公告）號 CN212903713U 公開（公告）日 2021-04-06
申請公布號 CN212903713U 申請公布日 2021-04-06
分類號 G01L25/00(2006.01)I;G01L27/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳恕華;胡晨光 申請（專利權）人 蘇州搏技光電技術有限公司
代理機構 蘇州言思嘉信專利代理事務所（普通合伙） 代理人 邵永永
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)2幢101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種MEMS壓力傳感器測試結構，包括主體支架、安裝于主體支架上的第一擋框，所述主體支架上固定安裝有Z軸模組，位于主體支架上還設有第一測試結構，所述第一測試結構與Z軸模組連接。本實用新型的有益效果是，通過測試結構與Z軸模組配合，能夠有效地對MEMS壓力傳感器進行測試，并且Z軸模組能夠控制測試結構上下移動，適用范圍大。??