一種改善光照均勻性的光刻機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121007699.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214846231U 公開（公告）日 2021-11-23
申請公布號 CN214846231U 申請公布日 2021-11-23
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 常熟埃眸科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市科航尚博專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳疆
地址 215505江蘇省蘇州市常熟高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)東南大道1號810室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種改善光照均勻性的光刻機(jī)，包括光刻箱、導(dǎo)光箱和導(dǎo)光筒，還包括掩模座和取料槽，所述光刻箱頂部通過螺栓安裝有導(dǎo)光箱，所述導(dǎo)光箱一側(cè)頂部通過螺栓穿設(shè)安裝有導(dǎo)光筒，所述導(dǎo)光箱內(nèi)頂部通過螺栓安裝有三棱鏡，所述導(dǎo)光箱內(nèi)底部通過螺栓安裝有掩模座，所述掩模座頂部開設(shè)有掩模版槽，所述光刻箱內(nèi)底部通過螺栓安裝有座板，所述座板頂部通過螺栓安裝有Z軸電動滑軌，所述Z軸電動滑軌的Z軸滑動塊頂部通過螺栓安裝有X軸電動滑軌。整體改善光照均勻性的光刻機(jī)使用穩(wěn)定高效，能夠?qū)饪淘O(shè)備作業(yè)環(huán)境更加穩(wěn)定，助于光照更加均勻，大大提升光刻的品質(zhì)，具有較高的實用性。