一種納米壓印機(jī)基片定位裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121016555.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214896195U 公開（公告）日 2021-11-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN214896195U 申請(qǐng)公布日 2021-11-26
分類號(hào) G03F7/00（2006.01）I;G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常熟埃眸科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市科航尚博專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳疆
地址 215505江蘇省蘇州市常熟高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)東南大道1號(hào)810室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種納米壓印機(jī)基片定位裝置，包括底板、環(huán)形晶圓座和絲桿座，還包括螺紋桿、弧形托塊和光刻鏡頭座，所述底板頂部設(shè)有環(huán)形晶圓座，所述光刻鏡頭座設(shè)置于環(huán)形晶圓座頂部，所述環(huán)形晶圓座內(nèi)設(shè)有圓形支撐塊，所述環(huán)形晶圓座與圓形支撐塊之間底部通過螺栓安裝有圓形玻璃片，所述圓形玻璃片頂部兩側(cè)且位于環(huán)形晶圓座與圓形支撐塊之間設(shè)有絲桿座，所述絲桿座兩端分別通過螺栓與環(huán)形晶圓座和圓形支撐塊安裝連接，所述絲桿座頂部均設(shè)有弧形托塊。整體納米壓印機(jī)基片定位裝置使用穩(wěn)定高效，可助于人員對(duì)多種規(guī)格的晶圓基片進(jìn)行支撐定位，具有良好的位置校正部件，助于晶圓基片加工品質(zhì)更高，具有較高的實(shí)用性。