一種半導(dǎo)體生產(chǎn)制造用光刻機(jī)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121008010.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN215297944U | 公開（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215297944U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-12-24 |
| 分類號(hào) | G03F7/20（2006.01）I;B01D35/02（2006.01）I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 不公告發(fā)明人 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 常熟埃眸科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 天津市科航尚博專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 吳疆 |
| 地址 | 215505江蘇省蘇州市常熟高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)東南大道1號(hào)810室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體生產(chǎn)制造用光刻機(jī)，包括光刻機(jī)本體、水箱和盒體，所述光刻機(jī)本體一側(cè)通過螺栓固定有水箱，所述水箱內(nèi)部通過螺栓固定有過濾網(wǎng)，所述水箱頂部通過螺栓固定有盒體，所述盒體頂部設(shè)置有盒蓋，所述盒蓋底部通過安裝架安裝有放置板，所述放置板頂部開設(shè)有卡槽，所述水箱內(nèi)頂部熱熔連接有限位架，所述限位架內(nèi)部套設(shè)有玻璃板，所述水箱頂部一端通過螺栓固定有抽水泵。本實(shí)用新型可以對(duì)刻印后的晶圓進(jìn)行清洗，同時(shí)方便人員檢測(cè)、觀察晶圓上刻印的圖案。 |
