一種納米壓印光刻機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121016567.X 申請日 -
公開（公告）號 CN215297936U 公開（公告）日 2021-12-24
申請公布號 CN215297936U 申請公布日 2021-12-24
分類號 G03F7/00（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 常熟埃眸科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市科航尚博專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳疆
地址 215505江蘇省蘇州市常熟高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)東南大道1號810室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種納米壓印光刻機(jī)，包括底座、運(yùn)動臺、光源箱和壓印箱，還包括螺紋桿和伺服電機(jī)，所述底座頂部設(shè)有運(yùn)動臺，所述底座頂部一側(cè)通過螺栓安裝有支撐架，所述支撐架頂部一側(cè)通過螺栓安裝有上板，所述上板底部設(shè)有壓印箱，所述上板上貫穿焊接連接有內(nèi)螺紋套，所述內(nèi)螺紋套內(nèi)螺紋插設(shè)有螺紋桿，所述壓印箱頂部通過螺栓安裝有伺服電機(jī)。整體納米壓印光刻機(jī)使用穩(wěn)定高效，可助于人員對多種規(guī)格的晶圓進(jìn)行壓印光刻的同時，可有效提高壓印光刻的品質(zhì)，有效解決外部光照的影響，具有較高的實(shí)用性。