一種步進式模板拼版壓印用光刻機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121007695.8 申請日 -
公開（公告）號 CN214896194U 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN214896194U 申請公布日 2021-11-26
分類號 G03F7/00（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 常熟埃眸科技有限公司
代理機構(gòu) 天津市科航尚博專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳疆
地址 215505江蘇省蘇州市常熟高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)東南大道1號810室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種步進式模板拼版壓印用光刻機，包括料臺、壓印罩和第一步進電機，還包括上導(dǎo)輥、下導(dǎo)輥和第二步進電機，所述料臺頂部一側(cè)通過螺栓安裝有支撐架，所述支撐架頂部一側(cè)通過螺栓安裝有上板，所述上板底部設(shè)有壓印罩，所述壓印罩頂部通過螺栓安裝有第一步進電機，所述第一步進電機頂部的驅(qū)動軸通過聯(lián)軸器安裝有往復(fù)絲桿，所述往復(fù)絲桿頂端與上板螺紋插設(shè)連接，所述料臺頂部兩側(cè)分別通過螺栓安裝有側(cè)板。整體步進式模板拼版壓印用光刻設(shè)置，使用穩(wěn)定高效，可助于人員進行步進式的連續(xù)壓印光刻工作，并可利用壓印罩對壓印帶的壓印路段進行罩設(shè)處理，大大降低外界光源對壓印的影響，具有較高的實用性。