一種半自動式納米壓印設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121008009.9 申請日 -
公開（公告）號 CN215181395U 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN215181395U 申請公布日 2021-12-14
分類號 G03F7/00（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權）人 常熟埃眸科技有限公司
代理機構 天津市科航尚博專利代理事務所（普通合伙） 代理人 吳疆
地址 215505江蘇省蘇州市常熟高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)東南大道1號810室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半自動式納米壓印設備，包括納米壓印機、操作腔和放置盤，所述納米壓印機內部開設有操作腔，所述操作腔內部通過軸承安裝有小型絲桿，所述小型絲桿外側套設有內螺紋立柱，所述內螺紋立柱頂部通過螺栓固定有放置盤，所述內螺紋立柱一側通過安裝架安裝有伺服電機。本實用新型可以對壓印后的晶圓進行散熱，同時可以調節(jié)放置盤的高度，方便人員操作放置盤內晶圓。