一種ITO燒結(jié)靶材的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810671772.6 申請日 -
公開（公告）號 CN108947520B 公開（公告）日 2021-06-11
申請公布號 CN108947520B 申請公布日 2021-06-11
分類號 C04B35/457;C04B35/622;C23C14/35 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 梅方勝;袁鐵錘;陳立三;楊楊;劉文德;李瑞迪;趙為上;苗華磊 申請（專利權(quán)）人 株洲冶煉集團股份有限公司
代理機構(gòu) 長沙朕揚知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 周孝湖
地址 412000 湖南省株洲市天元區(qū)淥江路10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種ITO燒結(jié)靶材的制備方法，包括以下步驟：將In2O3粉末和SnO2粉末一起經(jīng)濕法球磨，得ITO漿料，其中，In2O3粉末和SnO2粉末的原始粒徑比為1：（1.0?2.0），In2O3粉末的原始粒徑為50nm?200nm；將所得ITO漿料經(jīng)噴霧造粒，得ITO造粒粉體；將所得ITO造粒粉體裝入冷壓模具中，經(jīng)振動和抽真空操作后，再經(jīng)一步冷等靜壓成型，得ITO坯體；將所得ITO坯體在氧氣氣氛下進(jìn)行燒結(jié)，即得所述ITO燒結(jié)靶材。該制備方法所得ITO燒結(jié)靶材具有高密度、低電阻率和高強度的優(yōu)異性質(zhì)，解決現(xiàn)有技術(shù)的ITO燒結(jié)靶材的制備方法工藝流程復(fù)雜、成本高、對環(huán)境污染較大的問題。