一種帶有陶瓷涂層的多晶硅鑄錠坩堝蓋板

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921211135.7 申請日 -
公開（公告）號 CN211645445U 公開（公告）日 2020-10-09
申請公布號 CN211645445U 申請公布日 2020-10-09
分類號 C30B28/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 仝建峰;陳旭 申請（專利權(quán)）人 中航復(fù)材（北京）科技有限公司
代理機構(gòu) 中國航空專利中心 代理人 陳宏林
地址 101319北京市順義區(qū)仁和鎮(zhèn)順通路25號5幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型是一種帶有陶瓷涂層的多晶硅鑄錠坩堝蓋板，其特征在于：該坩堝蓋板(1)的上、下表面帶有涂層(2)，該涂層(2)的材質(zhì)為碳化硅涂層或氮化硼涂層。帶有涂層的坩堝蓋板能夠避免蓋板中的碳雜質(zhì)進入硅液中，提升多晶鑄錠的品質(zhì)，并能防止蓋板在高溫中與氬氣中的水蒸氣反應(yīng)生成一氧化碳而引入碳元素，而且能夠避免蓋板與石墨電極接觸從而避免拉弧打火。??