一種晶圓盒運(yùn)輸裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111435675.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114141677A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114141677A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-04 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/677（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 杜宬;高博揚(yáng) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北京知形科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京知呱呱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 孫志一 |
| 地址 | 102402北京市房山區(qū)弘安路85號(hào)院2號(hào)樓2層201室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓盒運(yùn)輸裝置，涉及運(yùn)輸晶圓的載具技術(shù)領(lǐng)域，包括罩子本體、減震器和內(nèi)部?jī)?chǔ)存有硅片的晶圓盒，罩子本體內(nèi)部設(shè)有晶圓盒和減震器，減震器位于晶圓盒和罩子本體之間。晶圓盒通過(guò)減震器支撐設(shè)置在罩子本體的內(nèi)部，并且晶圓盒與罩子本體之間通過(guò)減震器進(jìn)行隔離，減緩AGV機(jī)器人在移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生的震動(dòng)通過(guò)罩子本體傳導(dǎo)到晶圓盒，保護(hù)晶圓盒內(nèi)的硅片，避免造成硅片損壞的情況，晶圓盒位于罩子本體內(nèi)部，防塵性好，機(jī)器人通過(guò)視覺(jué)判斷晶元盒輪廓，確定晶元盒的位置和姿態(tài)，提高抓取定位精度，適合機(jī)械臂取放。 |
