晶圓刻蝕轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011243069.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112435953A 公開（公告）日 2021-03-02
申請公布號 CN112435953A 申請公布日 2021-03-02
分類號 H01L21/683(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李程;李松松;姚鑫杰 申請（專利權(quán)）人 吉姆西半導(dǎo)體科技（無錫）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 214194江蘇省無錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)涇虹路58號優(yōu)谷企業(yè)園45號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于晶圓刻蝕技術(shù)領(lǐng)域，尤其是晶圓刻蝕轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，針對現(xiàn)有的晶圓刻蝕轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)一般都只能朝著一個方向進(jìn)行轉(zhuǎn)動，但是晶圓在刻蝕過程中如果只朝著一個方向轉(zhuǎn)動很容易導(dǎo)致晶圓的刻蝕槽出現(xiàn)深度不夠均勻，并且精度不夠等缺點(diǎn)的問題，現(xiàn)提出以下方案，包括工作臺，所述工作臺的底部外壁通過螺栓固定有連接板，所述連接板的頂部外壁通過螺栓固定有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸通過聯(lián)軸器連接有轉(zhuǎn)桿，所述轉(zhuǎn)桿的一端通過螺栓固定有轉(zhuǎn)板。本發(fā)明伸縮彈簧拉動收卷橡膠布向回收縮，直到下一次拉動電機(jī)反轉(zhuǎn)開關(guān)，周而復(fù)始，從而可以控制轉(zhuǎn)板轉(zhuǎn)動幾圈后再反轉(zhuǎn)幾圈，從而可以保證晶圓在刻蝕過程中保持較好的刻蝕效果。??