聲表面波磁傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610443415.5 申請日 -
公開（公告）號 CN106154186B 公開（公告）日 2020-01-17
申請公布號 CN106154186B 申請公布日 2020-01-17
分類號 G01R33/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 童貝;李楊;周卓帆;歐陽君;朱本鵬 申請（專利權）人 瑞聲聲學科技（常州）有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 213167 江蘇省常州市武進區(qū)南夏墅鎮(zhèn)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種聲表面波磁傳感器。所述聲表面波磁傳感器包括壓電薄膜、分別設于所述壓電薄膜兩側的種子層和叉指換能器、以及設于所述種子層背離所述壓電薄膜的表面的襯底基片，所述叉指換能器包括叉指電極及位于所述叉指電極兩端的反射柵，所述叉指電極為磁性叉指電極。本發(fā)明同時提供一種聲表面波磁傳感器的制備方法。本發(fā)明的叉指電極為磁性叉指電極，在外加磁場的作用下，叉指電極彈性模量會發(fā)生改變，從而整個器件的等效彈性模量也會發(fā)生變化，導致聲表面波的諧振頻率發(fā)生改變，能實現檢測外界磁場的大小的功能；且具有膜層結構簡單、制備方法簡單、低成本、高各向異性、高靈敏度、高分辨率、易于微型化等優(yōu)點。