OTP存儲(chǔ)器件及其制作方法、電子裝置
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201810404695.8 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN110416213B | 公開(kāi)(公告)日 | 2021-07-20 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN110416213B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-20 |
分類號(hào) | H01L27/112;H01L21/8246 | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 孫曉峰;秦仁剛;盛拓 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 無(wú)錫華潤(rùn)上華科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京市磐華律師事務(wù)所 | 代理人 | 汪洋;張建 |
地址 | 214028 江蘇省無(wú)錫市國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)新洲路8號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供一種OTP存儲(chǔ)器件及其制作方法、電子裝置,該OTP存儲(chǔ)間包括:半導(dǎo)體襯底,在所述半導(dǎo)體襯底中形成有第一有源區(qū)和第二有源區(qū);在第一有源區(qū)上形成有若干存儲(chǔ)單元,同一第一有源區(qū)上相鄰的所述存儲(chǔ)單元呈鏡像布置,并且具有公共的位線和源線,相鄰所述第一有源區(qū)上的位于同一直線上的所述位線通過(guò)所述第二有源區(qū)彼此連接成為公用位線,相鄰所述第一有源區(qū)上的位于同一直線上的所述源線彼此不連接;在所述半導(dǎo)體襯底上還形成有阻擋層,所述阻擋層覆蓋所述浮柵。根據(jù)本發(fā)明的OTP存儲(chǔ)器件可以避免相鄰的位線接觸孔橋接互連而引起器件失效的問(wèn)題,提高了器件的良率和可靠性。該OTP存儲(chǔ)器件的制作方法和電子裝置具有類似的優(yōu)點(diǎn)。 |
