一種四線式電流感測電阻及其測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910121209.6 申請日 -
公開（公告）號 CN109975614B 公開（公告）日 2021-02-23
申請公布號 CN109975614B 申請公布日 2021-02-23
分類號 G01R27/08 分類 測量；測試;
發(fā)明人 南式榮;楊漫雪;胡志遠;其他發(fā)明人請求不公開姓名 申請（專利權(quán)）人 南京隆特集成電路科技有限公司
代理機構(gòu) 南京蘇高專利商標事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張弛
地址 210049 江蘇省南京市棲霞區(qū)馬群科技園青馬路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種四線式電流感測電阻，通過在電阻板表面設(shè)置保護層，保護層的保護層主體部分和兩個保護層側(cè)翼部分形成十字型隔斷將電阻板表面分隔出四個電極容置區(qū)域，兩個電流輸入電極和兩個電壓探測電極分別設(shè)置在四個電極區(qū)域內(nèi)，從而避免為了分隔電極而在電阻板兩側(cè)蝕刻精度要求較高的凹槽，降低四線式電流感測電阻的制造難度，提高產(chǎn)品成材率。同時電阻板兩端部設(shè)置缺口，通過調(diào)整缺口的深度來調(diào)整電阻溫度系數(shù)，減小電阻的TCR。本發(fā)明同時還公開了該電阻的測量方法，該方法能夠精確高效的測量電阻的阻值。