一種拉曼光譜儀監(jiān)控反饋式化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)及應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911282239.1 申請日 -
公開（公告）號 CN110923674A 公開（公告）日 2020-03-27
申請公布號 CN110923674A 申請公布日 2020-03-27
分類號 C23C16/52;C23C16/30;G01N21/65 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 于葛亮;韓亞清;肖經(jīng)寬;康斯坦丁·諾沃肖洛夫 申請（專利權(quán)）人 南通普朗克石墨烯科技有限公司
代理機構(gòu) 江蘇瑞途律師事務(wù)所 代理人 南通普朗克石墨烯科技有限公司
地址 226000 江蘇省南通市開發(fā)區(qū)廣州路42號410室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種拉曼光譜儀監(jiān)控反饋式化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)及應(yīng)用，屬于化學(xué)氣相沉積領(lǐng)域。系統(tǒng)包括化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)和拉曼光譜儀，所述化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)包括高溫爐，所述高溫爐中的爐腔內(nèi)設(shè)有穿過高溫爐的三通爐管，所述三通爐管設(shè)有上方開口，上方開口的正下方設(shè)置有載樣臺，所述三通爐管的上方開口密封連接光學(xué)鏡片；所述拉曼光譜儀的探頭垂直對準三通爐管中置于載樣臺上的基底。本發(fā)明通過設(shè)置三通爐管的上方開口為透射窗口，以供光信號通過，使拉曼光譜儀實時監(jiān)控化學(xué)氣相沉積進程，進而通過分析拉曼光譜數(shù)據(jù)對樣品制備的生長參數(shù)進行調(diào)控，制備樣品過程更加靈活可控，有效提高了樣品生長的效率。