一種拉曼光譜儀監(jiān)控反饋式化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)及應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911282239.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110923674A 公開（公告）日 2020-03-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN110923674A 申請(qǐng)公布日 2020-03-27
分類號(hào) C23C16/52;C23C16/30;G01N21/65 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 于葛亮;韓亞清;肖經(jīng)寬;康斯坦丁·諾沃肖洛夫 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南通普朗克石墨烯科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江蘇瑞途律師事務(wù)所 代理人 南通普朗克石墨烯科技有限公司
地址 226000 江蘇省南通市開發(fā)區(qū)廣州路42號(hào)410室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種拉曼光譜儀監(jiān)控反饋式化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)及應(yīng)用，屬于化學(xué)氣相沉積領(lǐng)域。系統(tǒng)包括化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)和拉曼光譜儀，所述化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)包括高溫爐，所述高溫爐中的爐腔內(nèi)設(shè)有穿過(guò)高溫爐的三通爐管，所述三通爐管設(shè)有上方開口，上方開口的正下方設(shè)置有載樣臺(tái)，所述三通爐管的上方開口密封連接光學(xué)鏡片；所述拉曼光譜儀的探頭垂直對(duì)準(zhǔn)三通爐管中置于載樣臺(tái)上的基底。本發(fā)明通過(guò)設(shè)置三通爐管的上方開口為透射窗口，以供光信號(hào)通過(guò)，使拉曼光譜儀實(shí)時(shí)監(jiān)控化學(xué)氣相沉積進(jìn)程，進(jìn)而通過(guò)分析拉曼光譜數(shù)據(jù)對(duì)樣品制備的生長(zhǎng)參數(shù)進(jìn)行調(diào)控，制備樣品過(guò)程更加靈活可控，有效提高了樣品生長(zhǎng)的效率。