電學(xué)測試監(jiān)控反饋式化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)及其應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911283328.8 申請日 -
公開（公告）號 CN110983292A 公開（公告）日 2020-04-10
申請公布號 CN110983292A 申請公布日 2020-04-10
分類號 C23C16/26;C23C16/455;C23C16/52;C23C16/54;G01R31/00;G01R27/02 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 于葛亮;韓亞清;肖經(jīng)寬;杜人君;蔣思奇;張棣;康斯坦丁·諾沃肖洛夫 申請（專利權(quán)）人 南通普朗克石墨烯科技有限公司
代理機構(gòu) 江蘇瑞途律師事務(wù)所 代理人 南通普朗克石墨烯科技有限公司
地址 226000 江蘇省南通市開發(fā)區(qū)廣州路42號410室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種電學(xué)測試監(jiān)控反饋式化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)及其應(yīng)用，屬于化學(xué)氣相沉積領(lǐng)域。系統(tǒng)包括化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)和電學(xué)測試系統(tǒng)，所述化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)包括高溫爐，所述高溫爐中的爐腔內(nèi)設(shè)有穿過高溫爐的三通爐管，所述三通爐管設(shè)有上方開口，上方開口處的正下方設(shè)置有載樣臺；所述電學(xué)測試系統(tǒng)包括通過內(nèi)置導(dǎo)線連接的四探針測試桿和四探針測試儀；所述四探針測試桿與上方開口密封連接。本發(fā)明通過對化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)爐管的改造，使化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)與電學(xué)測試系統(tǒng)結(jié)合，進而有效的實現(xiàn)了對樣品生長質(zhì)量的實時監(jiān)控以及能夠及時反饋至控制系統(tǒng)以調(diào)節(jié)生長參數(shù)，生成原子層級厚度的樣品，靈活性強，成膜效果好，樣品性能高。